MEMS
真空镀膜设备

微机电系统 (MEMS) 是结合了机械部件和电子部件的微型设备。它们应用广泛,包括传感器、显示技术和微流控。

我们为您提供灵活的真空沉积系统,用于 MEMS 制造。通过这些系统,您能够根据特定应用结合不同的技术,诸如刻蚀、金属化沉积、半导体和钝化层、后处理甚至定制要求。

您想要了解更多信息吗?点击下方内容或直接联系我们。

设备配置灵活,

轻松适应新的工艺和要求

设计紧凑,

节省占地空间

全自动理念,

使系统更具经济效益

支持
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06.05.2024 - 09.05.2026
SVC Annual Conference 2024

Booth: nn
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VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd.

Plant 7, No 801 Qiangye Road, Songjiang District
201602 SHANGHAI
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