Advanced Heating Control System
for Uniform Substrate Heating

冯阿登纳的高级加热控制系统是全球首个在镀膜工艺之前和期间对基片进行可靠、均匀加热的解决方案。该系统操作简单,能够帮助提高生产过程的效率并降低运营成本。它能够在较窄的公差范围内可靠、快速地设定基片温度,并具有较高的温度均匀性,从而能够缩短升温时间并最大限度地减少破损和废料。

高级加热控制系统是用于热处理的标准部件,比如在镀膜系统 PIA|nova®XEA|nova® FOSA 中。

现有的冯阿登纳系统可以通过加热控制系统进行升级。

如需了解更多详细信息,请查看宣传手册或直接联系我们。

可靠且均匀地加热

基片

提高效率并降低

生产成本

具有可靠的基片温度控制功能,

能够缩短升温时间并最大限度地减少废料

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